MOCVD设备冷却恒温恒压冷冻机,MOCVD设备降温冷水机
加工定制 | 是 |
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类型 | 水冷式冷水机 |
标准制冷量 | 93(kw) |
输入功率 | 22.5(kw) |
外形尺寸 | 1820*650*1650MM |
重量 | 600(kg) |
应用领域 | MOCVD设备,真空设备 |
结构类型 | 开放式 |
品牌 | 川本制冷/CBE |
型号 | CBE-30HP |
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恒温恒压冷冻机在MOCVD半导体芯片设备的应用,MOCVD半导体芯片设备冷却循环设备,MOCVD设备水循环冷却系统冷水机,MOCVD半导体芯片设备制冷机的选型,MOCVD设备冷却恒温恒压冷冻机,MOCVD设备降温冷水机
冷水机又称为冷冻机、制冷机、冰水机、冻水机、冷却机、水冷机等。
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一、 系统参数
争对深圳一生产LED芯片厂家的现状,现车间有5台MOCVD机、高温烘烤炉、单这退火炉、XRD分析测试机各1台,根据客户需要进行恒温恒压供水设计。
初步设计5台MOCVD机分别由2台40HP和1台20HP制冷系统分别对其进行恒温恒压供水,高温烘烤炉、单这退火炉、XRD分析测试机1台的供水由1台15HP制冷系统进行恒温恒压供水,依据参数设计如下表:
设备 | 数量 | 冷水流量(m3/h) | 供水压力 (bar) | 最小压差 (bar) | 进水温度 ℃ | 进水管径 不绣钢 | 所需配 冷水机 | 备注 |
1#MOCVD | 1 | 10 | 4.83±0.69 (4-6)可调 | 2.76 | 18-20 | DN25 |
40HP
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水质为 纯净水 |
2#MOCVD | 1 | 10 | 4.83±0.69 (4-6)可调 | 2.76 | 18-20 | DN25 | ||
3#MOCVD | 1 | 10 | 4.83±0.69 (4-6)可调 | 2.76 | 18-20 | DN25 |
40HP |
水质为 纯净水 |
4#MOCVD | 1 | 10 | 4.83±0.69 (4-6)可调 | 2.76 | 18-20 | DN25 | ||
5#MOCVD | 1 | 10 | 4.83±0.69 (4-6)可调 | 2.76 | 18-20 | DN25 | 20HP | 水质为 纯净水 |
高温烘炉 | 1 | 12 | 2.5 |
| 22-25 | DN50 |
15HP |
水质为 纯净水 |
单管退火炉 | 1 | 3 |
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| DN20 | ||
XRD | 1 | 0.36 | 4 | ―― | 15-25 | DN15 |
二、变频恒压供水特点:
1、恒压供水能自动24小时维持恒定压力,并根据压力信号自动启动备用泵,无级调整压力,供水质量好,与传统供水比较,不会造成管网破裂及水龙头共振现象。
2、动平滑,减少电机水泵的冲击,延长了电机及水泵的使用寿命,避免了传统供水中的水锤现象。
3、采用变频恒压供水保护功能齐全,运行可靠,具有欠压、过压、过流、过热等保护功能。
4、系统配置可实现全自动定时供水,彻底实现无人值守自动供水.控制系统具有故障报警和显示功能,并可进行工变频转换,应急供水。
5、系统根据用户用水量的变化来调节水泵转速,使水泵始终工作在高效区,当系统零流量时,机组进入休眠状态,水泵停止,流量增加后才进行工作,节电效果明显,比恒速水泵节电23%-55%。
6、变频恒压供水设备不设楼顶水池,既减少建筑物的造价,又克服了水源二次污染,气压波动大,水泵启动频繁和建造水塔一次性投资大,施工周期长,费用高等缺点。
7、整套设备只需一组控制柜和水泵机组,安装非常方便,占地面积少。
8、本设备采用全自动控制,操作人员只需转换电控柜开关,就可以实现用户所需工况,操作简单。
三、系统组成
本工程为冷冻水循环系统,采用2台40HP水冷开放式冷水机、1台20HP水冷开放式冷水机、1台15HP水冷开放式冷水机组,系统分成3组循环;
1)水塔和制冷主机称为冷却水循环,此循环为自来水,为制冷主机散热冷却;
2)制冷主机与储水箱之间为内部循环,此循环为纯净水,制冷主机把储水箱内的水降到18-20℃;
3)储水箱与MOCVD之间的为外部冷冻水循环,此循环为纯净水,高压水泵把水箱内18-20℃水经精密过滤器后送到MOCVD设备,从设备出来23-25℃的水回至储水箱,进入MOCVD设备的入水压力在4-6bar之间,且压力可通过控制面板的设定来调节所需的值。
冷却水及其它配件内循环水泵、外循环水泵、冷却水塔、冷水储水箱、变频器、点压力变送器、高精密过滤器等组成。
四、恒压供水工作原理: (以40HP带2台MOCVD设备为例,参考图纸恒压供水设备示意图)
1) 外循环变频恒压供水系统采用压力控制器面板设定点压力(进入2台设备前的水压力值),采用2个压力传感器(反馈为4~20mA)检测水管中压力,压力传感器将信号送入变频器PID回路,PID回路处理之后,送出一个水量增加或减少信号,控制马达转速,来调节入水的压力值。
2) 如进入2台MOCVD的压力不同,控制器的PLC会自动计算出进入2台MOCVD前的点压力平均值,再反馈为4~20mA给变频器的PID回路,尽量使进入2台MOCVD的入水压力相同,使实际水管压力与设定压力相一致。
3)设定值与实际值产偏差可在±0.5bar,进水压力可恒定在设定值的所允许的范围内(±0.5bar)。
4)当2台MOCVD的进水压力过高或过低时,装在系统管道上的压差旁通会进自动调节水的流向,使进入台MOCVD实际水管压力与设定压力相一致,随着用水量的减少,变频器自动减少输出频率,达到了节能的目的。
五、恒温供水说明(参考图纸恒压供水设备示意图)
恒温体现在内循环系统上,制冷主机与储水箱之间为内部循环,此循环为纯净水,制冷主机把储水箱内的水温恒定到18-20℃;
△ T---表示温度偏差,表示压缩机加载或卸载的温度差(△T以下设定为
0.5℃)。
T ---表示水箱的实际温度值
Ts---表示水箱的设定温度值(Ts以下设定为18.5℃)
能量调节;有2个压缩机:在升温过程中,当T>Ts时启动1台压缩机,当T >= Ts+△T时启动2台压缩机;在降温过程中,当T<Ts时,停一台,当T<Ts-△T时全停。
升温过程中,△T设定0.5℃,如水箱温度Ts设定18.5℃,当水箱内实际温度T≥19℃,控制器1#和2#压缩机输出,压缩机延时开启,机组进行制冷 ,水箱内温度下降;
降温过程中,水箱温度Ts设定18.5℃,当水箱内实际温度T=18.5℃时,2#压缩机停止输出,2#压缩机停止运行,只开启1个压缩机,当水箱内实际温度T=18℃时, 1#压缩机停止输出,此时所有压缩机全部停止运行,机组处于待机恒温状况。
如此往复循环,水箱内温度可稳定在18-20℃之间,
机组第一次使用需提前半个小时开机,以便水箱温度达到设定的温度
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